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| 标准详细信息 |
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| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/HEBQIA 370—2025 |
| 中文标题 | 600W准分子激光器技术规范 |
| 英文标题 | |
| 国际标准分类号 | 31.260 |
| 中国标准分类号 | |
| 国民经济分类 | C397 电子器件制造 |
| 发布日期 | 2025年04月24日 |
| 实施日期 | 2025年04月24日 |
| 起草人 | 杨礼昭，郭朱，张耀，宋高峰，王帆帆，李俊峰。 |
| 起草单位 | 深圳盛方科技有限公司，深圳市大族半导体装备科技有限公司，云谷（固安）科技有限公司。 |
| 范围 | 本文件适用于600W准分子激光器的设计、制造、检验和使用。 |
| 主要技术内容 | 本文件规定了600W准分子激光器的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则、标识、包装、运输和贮存。
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| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 不公开 |
| 团体详细信息 |
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| 团体名称 | 河北省质量信息协会 |
| 登记证号 | 51130000506400116C | 发证机关 | 河北省民政厅 |
| 业务范围 | 研究、咨询、培训、书刊、宣传 |
| 法定代表人/负责人 | 于连松 |
| 依托单位名称 | |
| 通讯地址 | 河北省石家庄市中华南大街与新石南路交叉口西南角汇龙国际公馆1-1-2210 | 邮编 : 050051 |
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