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| 标准详细信息 |
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| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/SDTC 010—2025 |
| 中文标题 | 光刻机用氧化铝陶瓷导轨 |
| 英文标题 | |
| 国际标准分类号 | 81.060.30 高级陶瓷 |
| 中国标准分类号 | |
| 国民经济分类 | C307 陶瓷制品制造 |
| 发布日期 | 2025年07月14日 |
| 实施日期 | 2025年09月01日 |
| 起草人 | 杨东亮、周国红、罗维志、朱岳彬、张健、王立波、苏明磊、王正娟、李新振、李伦、张超、古娜、徐海森、尹航、于松彬、王亮 |
| 起草单位 | 山东硅元新型材料股份有限公司、中国科学院上海硅酸盐研究所、上海微电子装备（集团）股份有限公司、淄博市传统产业发展中心、淄博市检验检测计量研究总院、淄博华创精细陶瓷有限公司、山东省硅酸盐研究设计院有限公司。 |
| 范围 | |
| 主要技术内容 | 外观质量，尺寸及形位公差，表面粗糙度，氧化铝含量， 体积密度，维氏硬度， 常温弯曲强度，弹性模量，平均线热膨胀系数等。 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 不公开 |
| 团体详细信息 |
|---|
| 团体名称 | 山东省陶瓷协会 |
| 登记证号 | 51370000MJD604229J | 发证机关 | 山东省民政厅 |
| 业务范围 | 组织开展调查研究、技术交流、技术培训、技术引进、咨询服务、协助开展行业管理等。 |
| 法定代表人/负责人 | 黄兴远 |
| 依托单位名称 | |
| 通讯地址 | 淄博市张店区柳泉路51号A座 | 邮编 : 255000 |
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