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| 标准详细信息 |
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| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/CASME 2085—2025 |
| 中文标题 | 碳化硅晶体长晶用碳化钽涂层产品技术规范 |
| 英文标题 | Tantalum carbide coating product technical requirements |
| 国际标准分类号 | 29.045 |
| 中国标准分类号 | H 80 |
| 国民经济分类 | C398 电子元件及电子专用材料制造 |
| 发布日期 | 2025年11月14日 |
| 实施日期 | 2025年12月14日 |
| 起草人 | 曾玉林、张雨萌、赵世贵、闫永杰、马良来、李加飞、何怡、赵丽丽、彭宁、张自鼎、夏晓杰、石林、月日辉、周丽、丁雄杰、刘薇、李华、任国静、张亚栋 |
| 起草单位 | 湖南泰坦未来科技有限公司、南通三责精密陶瓷有限公司、成都方大炭炭复合材料股份有限公司、哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司、湖南奕嘉新材料有限公司、宁夏东方钽业股份有限公司、湖南金欣科技有限公司、苏州清研半导体科技有限公司、广东广晟稀有金属光电新材料有限公司、广东天域半导体股份有限公司、华科盈飞（北京）数智科技有限公司、华兴中科标准技术（北京）有限公司、通标国华标准技术咨询（北京）有限公司 |
| 范围 | 本文件适用于碳化硅晶体生长用途的碳化钽涂层产品，其制备工艺包含物理气相沉积、化学气相沉积或等离子喷涂等方法。 |
| 主要技术内容 | 本文件规定了碳化硅晶体长晶用碳化钽（TaC）涂层产品的涂层基体技术要求、涂层技术要求、试验方法、检验规则、质量检验报告及标志、包装、运输和贮存。 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 不公开 |
| 团体详细信息 |
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| 团体名称 | 中国中小商业企业协会 |
| 登记证号 | 50001136-3/社证字第3320号 | 发证机关 | 中华人民共和国民政部 |
| 业务范围 | 信息交流 业务培训 书刊编辑 国际合作 咨询服务 |
| 法定代表人/负责人 | 杨斐 |
| 依托单位名称 | |
| 通讯地址 | 北京市西城区航空胡同32号 | 邮编 : 100035 |
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