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| 标准详细信息 |
|---|
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/CIET 1776—2025 |
| 中文标题 | 半导体行业用电子级化学品输送系统压力与流量稳定性测试方法 |
| 英文标题 | |
| 国际标准分类号 | 71.120.01 化工设备综合 |
| 中国标准分类号 | |
| 国民经济分类 | C352 化工、木材、非金属加工专用设备制造 |
| 发布日期 | 2025年09月02日 |
| 实施日期 | 2025年09月02日 |
| 起草人 | 吴永利、陈涛、潘华杰、任如、刘岩、汪贤峰、乔桂凤、马永苹、徐敬铭、包瑾、李晓宇、马宪臣 |
| 起草单位 | 通标中研标准化技术研究院（北京）有限公司、上海韩科科技股份有限公司、上海栎智半导体科技股份有限公司、途邦认证有限公司、河北凯桓信息科技发展有限公司 |
| 范围 | 本文件规定了半导体行业用电子级化学品输送系统压力与流量稳定性的技术要求、测试方法、检定及系统恢复、测试报告。
本文件适用于半导体行业用电子级化学品输送系统压力与流量稳定性测试。 |
| 主要技术内容 | 本文件规定了半导体行业用电子级化学品输送系统压力与流量稳定性的技术要求、测试方法、检定及系统恢复、测试报告。
本文件适用于半导体行业用电子级化学品输送系统压力与流量稳定性测试。 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 不公开 |
| 团体详细信息 |
|---|
| 团体名称 | 中国国际经济技术合作促进会 |
| 登记证号 | 51100000500012876L | 发证机关 | 中华人民共和国民政部 |
| 业务范围 | 国际合作 理论研究 技术交流 书刊编辑 业务培训 咨询服务 |
| 法定代表人/负责人 | 赵林 |
| 依托单位名称 | |
| 通讯地址 | 北京市通州区经海五路1号院45号楼1层5-101 | 邮编 : 101111 |
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