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| 标准详细信息 |
|---|
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/CQPRA 0025—2025 |
| 中文标题 | 半导体热处理硅舟技术规范 |
| 英文标题 | Technical Specification for Silicon Boats Used in Semiconductor Thermal Processing |
| 国际标准分类号 | 03.080.01 服务综合 |
| 中国标准分类号 | P35 |
| 国民经济分类 | O8290 其他未列明服务业 |
| 发布日期 | 2025年12月02日 |
| 实施日期 | 2025年12月02日 |
| 起草人 | 祝超、汤知源、邵文杰、刘琳笑、周斌、叶慧、徐璐玲、刘晓政、祝嘉豪、祝建敏、傅文涛、吕斌、徐匡荣、罗申、卢正。 |
| 起草单位 | 江山市检验检测研究院、浙江省质量科学研究院、常山县检验检测研究院、浙江盾源聚芯半导体科技有限公司、衢州市计量质量检验研究院、浙江夏王纸业有限公司、厦门市华夏国鉴教育研究院。 |
| 范围 | 本文件适用于扩散、退火、氧化等高温工艺中使用的石墨、碳化硅及石墨基涂层硅舟。其他用于高温承载用途的治具可参照执行，本文件亦可供制造单位、使用单位及检验机构参考使用。 |
| 主要技术内容 | 本文件规定了用于半导体制造中热处理工序的硅舟的技术要求、试验方法、检验规则及标识、包装和贮运要求。具体详见标准文件。 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 不公开 |
| 团体详细信息 |
|---|
| 团体名称 | 重庆市国际国内公共关系协会 |
| 登记证号 | 51500000504031118Q | 发证机关 | 重庆市民政局 |
| 业务范围 | 开展学术研讨、经验交流、信息咨询、培训人才等服务活动。 |
| 法定代表人/负责人 | 陈伟 |
| 依托单位名称 | |
| 通讯地址 | 重庆市渝中区双钢路3号科协大厦4楼09号 | 邮编 : 400000 |
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