T_CSCP 0059_1—2025 微机电系统(MEMS)材料腐蚀芯片与传感器 第1部分:通用要求-团体标准

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标准详细信息
标准状态  现行
标准编号  T/CSCP 0059.1—2025
中文标题  微机电系统(MEMS)材料腐蚀芯片与传感器 第1部分:通用要求
英文标题  Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) material corrosion chip and sensor—Part 1: General requirements
国际标准分类号  77.060
中国标准分类号  
国民经济分类  C397 电子器件制造
发布日期  2025年09月01日
实施日期  2025年10月01日
起草人  杨小佳、李晓刚、程学群、张强、卢壹梁、黄增浩、黄路遥、郝文魁、陈云、孙雷、李清、徐迪、朱仁政、杨国威、张达威、刘超、杨体绍、杨吉可、杜翠薇、刘智勇、张博威、骆鸿、马宏驰、王晓芳、杨丙坤、韩钰
起草单位  北京科技大学、中国电力科学研究院有限公司、南方电网科学研究院有限公司、广州天韵达新材料科技有限公司、北京材料基因工程高精尖创新中心、广州市南沙区贝科耐蚀新材料研究院、中国铁道科学研究院集团有限公司
范围  本文件规定了MEMS材料腐蚀芯片及传感器的通用技术、设计、选材、制造及测试要求。 本文件适用于各类MEMS材料腐蚀芯片及传感器的设计、制造、检验与应用,用于腐蚀环境的监测与评估。
主要技术内容  标准主要对MEMS材料腐蚀芯片及传感器的通用性设计进行规定,包括MEMS材料腐蚀芯片及传感器的工作原理、MEMS材料腐蚀芯片及传感器的分类、MEMS材料腐蚀芯片及传感器的工艺过程、MEMS材料腐蚀芯片及传感器的测试、MEMS材料腐蚀芯片及传感器的接口标准等。
是否包含专利信息  
标准文本  查看
团体详细信息
团体名称中国腐蚀与防护学会
登记证号51100000500005510Q发证机关中华人民共和国民政部
业务范围学术交流 专业展览 继续教育 成果鉴定 科学普及 咨询服务
法定代表人/负责人李晓刚
依托单位名称北京科技大学
通讯地址北京市学院路30号邮编 : 100083

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