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| 标准详细信息 |
|---|
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/CSCP 0059.3—2025 |
| 中文标题 | 微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片与传感器 第3部分：测试方法 |
| 英文标题 | Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) material corrosion chip and sensor—Part 3: Test method |
| 国际标准分类号 | 77.060 |
| 中国标准分类号 | |
| 国民经济分类 | C397 电子器件制造 |
| 发布日期 | 2025年09月01日 |
| 实施日期 | 2025年10月01日 |
| 起草人 | 卢壹梁、张强、杨小佳、王晓芳、李晓刚、程学群、韩钰、黄增浩、陈云、郝文魁、孙雷、李清、徐迪、杨丙坤、黄路遥、朱仁政、杨国威、张达威、刘超、杨体绍、杨吉可、杜翠薇、刘智勇、张博威、骆鸿、马宏驰 |
| 起草单位 | 中国电力科学研究院有限公司、北京科技大学、南方电网科学研究院有限公司、广州天韵达新材料科技有限公司、北京材料基因工程高精尖创新中心、广州市南沙区贝科耐蚀新材料研究院、中国铁道科学研究院集团有限公司 |
| 范围 | 本文件规定了MEMS材料腐蚀芯片及传感器测试项目及方法、测试条件、性能评估指标及判定准则。
本文件适用于MEMS材料腐蚀芯片及传感器的测试。 |
| 主要技术内容 | 标准主要包括金属、半导体、聚合物等不同材质制成的 MEMS 材料腐蚀芯片及传感器的通用性测试。旨在为该类产品提供统一的性能测试方法和准则，确保其在工业生产过程监测、环境腐蚀性检测等不同应用领域中，具备可靠的检测性能、准确的测量精度以及稳定的工作能力，从而为设备维护、安全运行以及科学研究提供精准的数据支撑。 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 不公开 |
| 团体详细信息 |
|---|
| 团体名称 | 中国腐蚀与防护学会 |
| 登记证号 | 51100000500005510Q | 发证机关 | 中华人民共和国民政部 |
| 业务范围 | 学术交流 专业展览 继续教育 成果鉴定 科学普及 咨询服务 |
| 法定代表人/负责人 | 李晓刚 |
| 依托单位名称 | 北京科技大学 |
| 通讯地址 | 北京市学院路30号 | 邮编 : 100083 |
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