收录自团体标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该团体标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。
| 标准详细信息 |
|---|
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/EDASQUARE 025—2025 |
| 中文标题 | 掩模准备数据格式 |
| 英文标题 | Mask Composer Tool Output Data Standard |
| 国际标准分类号 | 31.200 |
| 中国标准分类号 | |
| 国民经济分类 | I6520 集成电路设计 |
| 发布日期 | 2025年09月12日 |
| 实施日期 | 2025年09月12日 |
| 起草人 | 李思坤、吴灿灿、陈岚、阚欢、周洁云、刘晓明、卓立文、孟晓东、沈逸江、邹宁睦。 |
| 起草单位 | 中国科学院上海光学精密机械研究所、上海概伦电子股份有限公司、中国科学院微电子研究所、杭州广立微电子股份有限公司、苏州培风图南半导体有限公司、北京华大九天科技股份有限公司、全芯智造技术有限公司、广东工业大学、南京大学。 |
| 范围 | |
| 主要技术内容 | 本文件规范了掩模准备数据输出文件格式及输出信息格式。
本文件适用于晶圆制造领域掩模版生产与使用。 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 不公开 |
| 团体详细信息 |
|---|
| 团体名称 | 上海电子设计自动化发展促进会 |
| 登记证号 | 51310000MJ4905543H | 发证机关 | 上海市民政局 |
| 业务范围 | 开展电子设计自动化及相关领域的调查研究，技术创新，编辑出版，标准制定，测试评价，培训与交流，展览展示，承接相关委托事项。（涉及行政许可的，凭许可证开展业务） |
| 法定代表人/负责人 | 郑云升 |
| 依托单位名称 | |
| 通讯地址 | 上海市浦东新区龙东大道3000号1幢裙房217-08室 | 邮编 : 201203 |
收录自团体标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该团体标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。